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氮化鎵與硅“聯姻”:新3D半導體工藝探索突破摩爾定律新路徑
文章來源:永阜康科技 更新時間:2025/6/23 10:50:00
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麻省理工學院(MIT)的研究團隊開發出一種低成本、可擴展的制造技術,可將高性能氮化鎵(GaN)晶體管集成到標準硅芯片上,從而提升高頻應用(如視頻通話、實時深度學習)的性能表現。

氮化鎵是繼硅之后全球第二大半導體材料,因其高頻、高效特性,被廣泛用于雷達、電源電子等領域。然而,其高昂成本及與硅基芯片的兼容性難題,長期限制了商業化應用。

MIT 團隊為此提出了新制造方案,在氮化鎵晶圓表面密集制造微型晶體管,切割成僅 240×410 微米的獨立單元(稱“dielet”),再通過銅柱低溫鍵合技術,精準嵌入硅互補金屬氧化物半導體(CMOS)芯片。

新技術的核心是“分而治之”策略。團隊開發專用工具,利用真空吸附與納米級定位,對齊 dielet 與硅基板的銅柱接口,400 攝氏度以下完成低溫鍵合。

相比傳統金焊工藝,銅柱結合成本更低、導電性更優,且兼容現有半導體產線。實驗中,團隊制作的功率放大器芯片(面積不足 0.5 平方毫米)在無線信號強度與能效上超越硅基器件,可提升智能手機通話質量、帶寬及續航,并降低系統發熱。

援引 MIT News 媒體觀點,該技術為突破摩爾定律瓶頸提供了新路徑,通過三維集成氮化鎵與硅芯片,未來可整合射頻前端、AI 加速器等模塊,推動“天線至 AI”的統一平臺發展。

論文共同作者 Pradyot Yadav 表示,這種“硅基數字芯片與氮化鎵優勢結合”的混合芯片,可能顛覆通信、數據中心及量子計算領域。

IBM 科學家 Atom Watanabe 評價,該成果“重新定義了異質集成的邊界,為下一代系統小型化與能效優化樹立標桿”。

 
 
 
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